美國萊特浩斯HPC1100高壓控制器優點和應用范圍  產品介紹：

HPC 1100 高壓控制器采用的新設計理念和技術，與萊特浩斯 0.1μm 的粒子計數器配合，監測高壓環境（30 到 150PSI）下的惰性氣體系統的工業氣體污染。

應用：

過程認證

半導體工藝監測

平板過程監控

過程趨勢分析

優點：

在正常操作期間零浪費惰性氣體

輸出壓力接近大氣壓力

低噪聲

小尺寸

易于系統集成

支持0.1μm靈敏度、1立方英尺流量（28.3L/min)的塵埃粒子計數器

可用于任何惰性氣體

容易設置

安裝簡單

前裝式流量計

直觀的用戶控制

安靜的操作

快速吹掃和清理

內部和外部VCR接頭

不銹鋼結構

技術參數：

氣體粒徑范圍：0.1μm或更大的

流量范圍：1立方英尺(28.3L/min)

輸出壓力: 接近大氣壓

輸入壓力：30-150 psi

兼容的氣體：氮，氬，氦，CDA

運行時的噪聲水平：< 60分貝

外殼：不銹鋼